加熱器與過濾精度達(dá) 0.1μm的過濾器同時(shí)搭載。

該系列可用于半導(dǎo)體制造工藝中的液化氣體過濾，接觸氣體部分材采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。該系列還搭載了LINTEC自主研發(fā)的低壓損結(jié)構(gòu)。

特點(diǎn)

• 0.1µm 的過濾精度

• 最高使用溫度達(dá)200℃

• 全金屬無塵構(gòu)造

VF-0201N

使用范例

該系列過濾器可安裝在汽化系統(tǒng)后方，用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物。

加熱過濾器是一種過濾裝置，其利用變溫吸附的原理，在常溫下吸附（工作），在較高溫度下解析（再生）。即吸附劑在吸附過程中吸附的水分，在再生過程中, 由鼓風(fēng)機(jī)提供再生氣,經(jīng)過加熱器將環(huán)境空氣加熱到200℃左右進(jìn)入干燥塔,依靠干燥空氣的熱擴(kuò)散作用,清除吸附的水分，然后鼓風(fēng)機(jī)停止供氣,用大約5%的干燥空氣進(jìn)入干燥塔。

應(yīng)用領(lǐng)域